Verfahren zur Detektion von Positionsabweichungen

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Detektion von Positionsabweichungen unter Verwendung eines Laserstrahls (6), wobei an einem Objekt (8) zumindest zwei Markierungen (9, 10) vorliegen, welche jeweils zumindest in einer Messrichtung eine Ausdehnung aufweisen, welche geringer ist als die Wellenlänge des Laserstrahls (6), wobei eine erste Markierung (9) mit Abstand in Messrichtung zu einer zweiten Markierung (10) am Objekt (8) vorliegt, wobei als Messsignal das von den Markierungen (9, 10) gestreute Laserlicht an zumindest zwei räumlich getrennten Detektionspunkten erfasst wird, während eine Relativbewegung des Laserstrahls (6) über die zumindest zwei Markierungen (9, 10) erfolgt, wobei aus dem Messsignal an den Detektionspunkten hervorgeht, zu welchem Zeitpunkt sich eine der Markierungen (9, 10) im Zentrum des Laserstrahls (6) befindet, sodass aus der Distanz zwischen diesen Zeitpunkten im Messsignal der Abstand der Markierungen (9, 10) und somit eine Positionsabweichung von einem Sollabstand bestimmbar ist.