Abstract
In diesem Beitrag beschreiben wir ein neues Konzept für einen integriert beheizbaren Viskositätssensor auf der Basis eines mikroakustischen Dickenscherschwingers. Die mit einem ersten Prototyp erzielten experimentellen Ergebnisse demonstrieren die vorteilhaften Eigenschaften dieses Bauelements hinsichtlich Schnelligkeit und Leistungsbedarf.
| Original language | German (Austria) |
|---|---|
| Title of host publication | 7. Dresdner Sensor Symposium |
| Publisher | TUDpress |
| Pages | 77-80 |
| Number of pages | 4 |
| ISBN (Print) | 3-938863-29-3 |
| Publication status | Published - 2005 |
Fields of science
- 202036 Sensor systems