Berührungslose Schichtstärkenmessung

Christian Diskus; Eva I. Breuer; Günther Fuchshuber; Peter Burgholzer

Berührungslose Schichtstärkenmessung

Translated title of the contribution: Remote Thickness Measurement

Christian Diskus
, Eva I. Breuer
, Günther Fuchshuber
, Peter Burgholzer

Institute of Microelectronics and Microsensors

Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Conference proceedings

Abstract

Es wurde eine berührungslose Schichtdickenmessung für Emailpulver entwickelt. Der Messaufbau, welcher in einem Betriebsversuch im Emailwerk der Firma Wolf-Email in Heidenreichstein verifiziert wurde, besteht aus einem CO2-Laser und drei Thermosensoren. Durch Auswertung der Abkühlkurve des Pulvers kann die Schichtdicke mit der geforderten Genauigkeit von 10% in der Produktion gemessen werden.

Translated title of the contribution	Remote Thickness Measurement
Original language	German (Austria)
Title of host publication	Tagungsband der Informationstagung Mikroelektronik
Editors	ÖVE
Publication status	Published - Oct 2003

Fields of science

202027 Mechatronics

Analyse und Inline-Prozesskontrolle der Emaillierung
Diskus, C. (PI)
01.05.2001 → 31.07.2002
Project: Funded research › Other mainly public funds

Cite this

@inproceedings{f53d645059d04b74a5697e6c03aebfe4,

title = "Ber{\"u}hrungslose Schichtst{\"a}rkenmessung",

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author = "Christian Diskus and Breuer, \{Eva I.\} and G{\"u}nther Fuchshuber and Peter Burgholzer",

year = "2003",

month = oct,

language = "Deutsch ({\"O}sterreich)",

editor = "{\"O}VE",

booktitle = "Tagungsband der Informationstagung Mikroelektronik",

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TY - GEN

T1 - Berührungslose Schichtstärkenmessung

AU - Diskus, Christian

AU - Breuer, Eva I.

AU - Fuchshuber, Günther

AU - Burgholzer, Peter

PY - 2003/10

Y1 - 2003/10

N2 - Es wurde eine berührungslose Schichtdickenmessung für Emailpulver entwickelt. Der Messaufbau, welcher in einem Betriebsversuch im Emailwerk der Firma Wolf-Email in Heidenreichstein verifiziert wurde, besteht aus einem CO2-Laser und drei Thermosensoren. Durch Auswertung der Abkühlkurve des Pulvers kann die Schichtdicke mit der geforderten Genauigkeit von 10% in der Produktion gemessen werden.

AB - Es wurde eine berührungslose Schichtdickenmessung für Emailpulver entwickelt. Der Messaufbau, welcher in einem Betriebsversuch im Emailwerk der Firma Wolf-Email in Heidenreichstein verifiziert wurde, besteht aus einem CO2-Laser und drei Thermosensoren. Durch Auswertung der Abkühlkurve des Pulvers kann die Schichtdicke mit der geforderten Genauigkeit von 10% in der Produktion gemessen werden.

M3 - Konferenzbeitrag

BT - Tagungsband der Informationstagung Mikroelektronik

A2 - ÖVE, null

ER -

Berührungslose Schichtstärkenmessung

Abstract

Fields of science

Projects

Analyse und Inline-Prozesskontrolle der Emaillierung

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