Automatisierung der Ramanapparatur und Untersuchungen im SiH4-CVD-System mit Hilfe der Ramanspektroskopie

Heinz Michalik

Research output: Thesis › Master's / Diploma thesis

Original languageGerman (Austria)
Publication statusPublished - Feb 1987

Fields of science

  • 103016 Laser physics
  • 210005 Nanophotonics

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