Project Details
Description
Phasenanalyse mittels Röntgendiffraktometrie an Hartstoffschichten des Systems Ti-Al-N-B-C-O. Systematische Untersuchung von Phasen und Stöchiometrie als Funktion von Prozeßparametern bei der Herstellung mittels Plasmaabscheidung.
Status | Finished |
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Effective start/end date | 01.09.1997 → 30.09.1998 |
Fields of science
- 103009 Solid state physics
- 103018 Materials physics
- 103 Physics, Astronomy
- 210006 Nanotechnology
- 103011 Semiconductor physics
- 103017 Magnetism
JKU Focus areas
- Sustainable Development: Responsible Technologies and Management