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UV nanoimprint lithography for the realization of large-area ordered SiGe/Si(001) island arrays

Publikation: Beitrag in FachzeitschriftArtikelBegutachtung

OriginalspracheEnglisch
Aufsatznummer143101
Seiten (von - bis)143101
Seitenumfang3
FachzeitschriftApplied Physics Letters
Volume98
Ausgabenummer14
DOIs
PublikationsstatusVeröffentlicht - 04 Apr. 2011

Wissenschaftszweige

  • 103 Physik, Astronomie
  • 103009 Festkörperphysik
  • 103011 Halbleiterphysik
  • 103017 Magnetismus
  • 103018 Materialphysik
  • 103040 Photonik
  • 202032 Photovoltaik
  • 210006 Nanotechnologie

JKU-Schwerpunkte

  • Nano-, Bio- and Polymer-Systems: From Structure to Function

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