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Ultraviolet Nanoimprint Lithography for Silicon-based Integrated Photonics

  • Lukas David Häusler

Publikation: AbschlussarbeitenMaster-/Diplomarbeit

OriginalspracheEnglisch
PublikationsstatusVeröffentlicht - Dez. 2013

Wissenschaftszweige

  • 103026 Quantenoptik
  • 103009 Festkörperphysik
  • 103 Physik, Astronomie
  • 103011 Halbleiterphysik
  • 202018 Halbleiterelektronik
  • 210006 Nanotechnologie

JKU-Schwerpunkte

  • Nano-, Bio- and Polymer-Systems: From Structure to Function

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