Structural investigation of Si/SiGe superlattices on vicinal (113) oriented Si

G. Abstreiter; Günther Bauer; K. Brunner; F. Ernst; J. Grim; Vaclav Holy; O. Kienzle; Julian Stangl; J. Zhu

doi:10.1016/s0040-6090(99)00478-2

Structural investigation of Si/SiGe superlattices on vicinal (113) oriented Si

G. Abstreiter
, Günther Bauer
, K. Brunner
, F. Ernst
, J. Grim
, Vaclav Holy
, O. Kienzle
, Julian Stangl
, J. Zhu

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Konferenzartikel › Begutachtung

Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	71-75
Seitenumfang	5
Fachzeitschrift	Thin Solid Films
Volume	357
Ausgabenummer	1
DOIs	https://doi.org/10.1016/s0040-6090(99)00478-2
Publikationsstatus	Veröffentlicht - 01 Dez. 1999

Wissenschaftszweige

103 Physik, Astronomie
103009 Festkörperphysik
103011 Halbleiterphysik
103017 Magnetismus
103018 Materialphysik
103040 Photonik
202032 Photovoltaik
210006 Nanotechnologie

Zugriff auf Dokument

10.1016/s0040-6090(99)00478-2

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TY - JOUR

T1 - Structural investigation of Si/SiGe superlattices on vicinal (113) oriented Si

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PY - 1999/12/1

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