Spectroscopic ellipsometry on metallic gratings

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Konferenzband › Kapitel › Begutachtung

Originalsprache	Englisch
Titel	Ellipsometry at the Nanoscale
Herausgeber*innen	Univ.-Prof. Dr. Kurt Hingerl
Erscheinungsort	Heidelberg
Verlag	Springer
Seiten	257-311
Seitenumfang	55
Band	24
ISBN (elektronisch)	9783642339561
ISBN (Print)	978-3-642-33955-4
DOIs	https://doi.org/10.1007/978-3-642-33956-1_7
Publikationsstatus	Veröffentlicht - März 2013

Wissenschaftszweige

@inbook{3e12ae1653c4469788f4c592de62bcd2,

title = "Spectroscopic ellipsometry on metallic gratings",

author = "Michael Bergmair and Kurt Hingerl and Peter Zeppenfeld",

year = "2013",

month = mar,

doi = "10.1007/978-3-642-33956-1\_7",

language = "English",

isbn = "978-3-642-33955-4",

volume = "24",

pages = "257--311",

editor = "\{Univ.-Prof. Dr. Kurt Hingerl\}",

booktitle = "Ellipsometry at the Nanoscale",

publisher = "Springer",

}

TY - CHAP

T1 - Spectroscopic ellipsometry on metallic gratings

AU - Bergmair, Michael

AU - Hingerl, Kurt

AU - Zeppenfeld, Peter

PY - 2013/3

Y1 - 2013/3

UR - http://www.springer.com/engineering/book/978-3-642-33955-4

UR - https://www.scopus.com/pages/publications/84948148004

U2 - 10.1007/978-3-642-33956-1_7

DO - 10.1007/978-3-642-33956-1_7

M3 - Chapter

SN - 978-3-642-33955-4

VL - 24

SP - 257

EP - 311

BT - Ellipsometry at the Nanoscale

A2 - Univ.-Prof. Dr. Kurt Hingerl, null

PB - Springer

CY - Heidelberg

ER -