Pyrolytic Laser Induced Chemical Processing

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Konferenzband › Konferenzbeitrag › Begutachtung

Originalsprache	Englisch
Titel	Laser Chemical Processing of Semiconductor Devices
Herausgeber*innen	F. Houle, T.F. Deutsch, R.M. Osgood
Verlag	Materials Research Society, Boston 1984
Seiten	59
Seitenumfang	16
Publikationsstatus	Veröffentlicht - 1984

Name	Proc. Materials Research Society

Wissenschaftszweige

@inproceedings{f761371bb5364a62a022c37c90a8de24,

title = "Pyrolytic Laser Induced Chemical Processing",

author = "Dieter B{\"a}uerle",

year = "1984",

language = "English",

series = "Proc. Materials Research Society",

publisher = "Materials Research Society, Boston 1984",

pages = "59",

editor = "\{F. Houle, T.F. Deutsch, R.M. Osgood\}",

booktitle = "Laser Chemical Processing of Semiconductor Devices",

}