| Originalsprache | Englisch |
|---|---|
| Titel | MRS Proc. Vol. 158, Proceedings of "In-situ Patterning: Selective Area Deposition and Etching" |
| Herausgeber*innen | R. Rosenberg, A.F. Bernhardt, J.G. Black |
| Seiten | 451 |
| Seitenumfang | 10 |
| Band | 158 |
| Publikationsstatus | Veröffentlicht - 1990 |
Publikationsreihe
| Name | MRS Proc. |
|---|
Wissenschaftszweige
- 103016 Laserphysik
- 103020 Oberflächenphysik
- 103 Physik, Astronomie
- 103008 Experimentalphysik
- 103021 Optik
- 103023 Polymerphysik
JKU-Schwerpunkte
- TNF Allgemein
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