Growth Kinetics of Laser Chemical Vapor Deposited Tungsten

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Begutachtung

Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	505
Seitenumfang	4
Fachzeitschrift	Spectrochimica Acta Part A: Molecular and Biomolecular Spectroscopy
Volume	46A
Publikationsstatus	Veröffentlicht - 1990

Wissenschaftszweige

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title = "Growth Kinetics of Laser Chemical Vapor Deposited Tungsten",

author = "Tamas Sz{\"o}r{\'e}nyi and Klaus Piglmayer and Dieter B{\"a}uerle",

year = "1990",

language = "English",

volume = "46A",

pages = "505",

journal = "Spectrochimica Acta Part A: Molecular and Biomolecular Spectroscopy",

issn = "1386-1425",

publisher = "Elsevier",

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