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Electromagnetically Actuated Membrane-Based Micropumps with Integrated Magnetic Yoke

Publikation: Beitrag in FachzeitschriftArtikelBegutachtung

OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)205-210
Seitenumfang6
FachzeitschriftJournal of Microelectronics and Electronic Packaging
Volume6
Ausgabenummer4
DOIs
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2009

Wissenschaftszweige

  • 203017 Mikromechanik
  • 202019 Hochfrequenztechnik
  • 202028 Mikroelektronik
  • 202039 Theoretische Elektrotechnik
  • 202037 Signalverarbeitung
  • 202027 Mechatronik
  • 202036 Sensorik

JKU-Schwerpunkte

  • Mechatronics and Information Processing

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