Abstract
In diesem Beitrag beschreiben wir ein neues Konzept für einen integriert beheizbaren Viskositätssensor auf der Basis eines mikroakustischen Dickenscherschwingers. Die mit einem ersten Prototyp erzielten experimentellen Ergebnisse demonstrieren die vorteilhaften Eigenschaften dieses Bauelements hinsichtlich Schnelligkeit und Leistungsbedarf.
| Originalsprache | Deutsch (Österreich) |
|---|---|
| Titel | 7. Dresdner Sensor Symposium |
| Verlag | TUDpress |
| Seiten | 77-80 |
| Seitenumfang | 4 |
| ISBN (Print) | 3-938863-29-3 |
| Publikationsstatus | Veröffentlicht - 2005 |
Wissenschaftszweige
- 202036 Sensorik
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