Direct Writing and In-Situ Material Processing by a Laser-Micromachining Projection Microscope

K. Osvay; Z. Bor; B. Racz; Johannes Heitz

doi:10.1007/BF00324377

Direct Writing and In-Situ Material Processing by a Laser-Micromachining Projection Microscope

K. Osvay
, Z. Bor
, B. Racz
, Johannes Heitz

Institut für Angewandte Physik

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Begutachtung

Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	211-214
Seitenumfang	4
Fachzeitschrift	Applied Physics A
Volume	58
Ausgabenummer	3
DOIs	https://doi.org/10.1007/BF00324377
Publikationsstatus	Veröffentlicht - März 1994

UN SDGs

Dieser Output leistet einen Beitrag zu folgendem(n) Ziel(en) für nachhaltige Entwicklung

SDG 9 – Industrie, Innovation und Infrastruktur

Wissenschaftszweige

103016 Laserphysik
103020 Oberflächenphysik
103 Physik, Astronomie
103008 Experimentalphysik
103021 Optik
103023 Polymerphysik

JKU-Schwerpunkte

TNF Allgemein

Zugriff auf Dokument

10.1007/BF00324377

Andere Dateien und Links

Verknüpfung zur Publikation in Scopus

Dieses zitieren

@article{bc53d99a46b248dabd5b3319ce44aacb,

title = "Direct Writing and In-Situ Material Processing by a Laser-Micromachining Projection Microscope",

author = "K. Osvay and Z. Bor and B. Racz and Johannes Heitz",

year = "1994",

month = mar,

doi = "10.1007/BF00324377",

language = "English",

volume = "58",

pages = "211--214",

journal = "Applied Physics A",

issn = "1432-0630",

publisher = "Springer Verlag",

number = "3",

}

TY - JOUR

T1 - Direct Writing and In-Situ Material Processing by a Laser-Micromachining Projection Microscope

AU - Osvay, K.

AU - Bor, Z.

AU - Racz, B.

AU - Heitz, Johannes

PY - 1994/3

Y1 - 1994/3

UR - https://www.scopus.com/pages/publications/0028392763

U2 - 10.1007/BF00324377

DO - 10.1007/BF00324377

M3 - Article

SN - 1432-0630

VL - 58

SP - 211

EP - 214

JO - Applied Physics A

JF - Applied Physics A

IS - 3

ER -