CH4/H2 Plasma Etching of IV-VI Semiconductors

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Konferenzband › Konferenzbeitrag

Originalsprache	Englisch
Titel	Proceedings Seminar Aktuelle Entwicklungen der Mikroelektronik, Bad Hofgastein 1999
Herausgeber*innen	K. Riedling
Seiten	197
Seitenumfang	1
Publikationsstatus	Veröffentlicht - März 1999

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author = "Thomas Schwarzl and Hei{\ss}, \{Wolfgang Johann\} and Gudrun Kocher-Oberlehner and Gunther Springholz",

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