A micromachined wet cell for a Love-wave liquid sensor

Scott D. Curtin; Bernhard Jakoby; Axel Berthold; Vijay K. Varadan; Vasundara V. Varadan; Michael J. Vellekoop

doi:10.1117/12.320170

A micromachined wet cell for a Love-wave liquid sensor

Scott D. Curtin
, Bernhard Jakoby
, Axel Berthold
, Vijay K. Varadan
, Vasundara V. Varadan
, Michael J. Vellekoop

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Konferenzartikel › Begutachtung

Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	194-200
Seitenumfang	7
Fachzeitschrift	Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
Volume	3328
DOIs	https://doi.org/10.1117/12.320170
Publikationsstatus	Veröffentlicht - 1998
Extern publiziert	Ja
Veranstaltung	Smart Structures and Materials 1998: Smart Electronics and MEMS - San Diego, CA, USA/Vereinigte Staaten Dauer: 02 März 1998 → 02 März 1998

UN SDGs

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SDG 9 – Industrie, Innovation und Infrastruktur

Wissenschaftszweige

202 Elektrotechnik, Elektronik, Informationstechnik

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10.1117/12.320170

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TY - JOUR

T1 - A micromachined wet cell for a Love-wave liquid sensor

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M3 - Conference article

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JO - Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering

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T2 - Smart Structures and Materials 1998: Smart Electronics and MEMS

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