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Spectroscopic Ellipsometry for Crystal Growth of II-VI Compounds

Projekt: Geförderte ForschungSonstige überwieg. aus öff. Hand

Projektdetails

Beschreibung

Mit Hilfe der spektral aufgelösten Ellipsometrie können die Zusammensetzung und die Dicke eines epitaktischen Films in situ während des Wachstums bestimmt werden. Diese Methode ist für eine große Zahl von Materialien bereits erfolgreich angewendet worden und soll in diesem Projekt für II-VI-Verbindungshalbleiter erprobt werden.
StatusAbgeschlossen
Tatsächliches Beginn-/Enddatum01.01.199701.06.1998

Wissenschaftszweige

  • 103009 Festkörperphysik
  • 103018 Materialphysik
  • 103 Physik, Astronomie
  • 210006 Nanotechnologie
  • 103011 Halbleiterphysik
  • 103017 Magnetismus

JKU-Schwerpunkte

  • Sustainable Development: Responsible Technologies and Management