Berücksichtigung der transversalen Inhomogenitäten bei der Bewegungssimulation von OFW Filtern

OFW-Filter sind passive miniaturisierte Komponenten für die Hochfrequenz-Signalverarbeitung. Heute beherrschte Technologien erlauben die Serienfertigung von OFW-Filtern bis 5 GHz. Das einkristalline Substratmaterial gewährleistet geringe akustische Verluste und nahezu dispersionfreie (von der Anregungsfrequenz unabhängige) Ausbreitung der Wellen. Dies ergibt hohe Güten bzw. steile Flanken für die Übertragungsfunktion der Filter. Eine Vielzahl von Sekundäreffekten (z.B. Beugung, Reflexion, Volumenwellen, Fingerwiderstand usw.) stört jedoch die Wellenausbreitung, kann aber kompensiert werden - soweit reproduzierbar, modellierbar und innerhalb der Impulsantwort wirksam. Ziel der Dissertation ist es, diese Sekundäreffekte, mittels geeigneter Simulationen möglichst exakt vorherzusagen um den Fertigungszyklus zu beschleunigen