Ultraschall-Mikroskopie zur Charakterisierung der Degradation von Halbleiterschichten

Beschreibung

In diesem Beitrag wird die bildgebende Darstellung der Degradation von Halbleiterschichten mit einem örtlich hoch auflösenden Ultraschall-Mikroskop beschrieben. Die Degradation führt zu lokalen Delaminationen der Metall­schichten, die elektrochemisch auf ein Halbleitermaterial niedergeschlagen werden. Durch diese De­gradationen entstehen akustische Fehlanpassungen, welche als Ultraschall-Echos detektiert werden können. Eine komplexe Signalverarbeitung ist notwendig um die Degradation aus den aufgezeichneten Ultraschallsignalen zu bestimmen.

Zeitraum	26 Juni 2014
Ereignistitel	Messtechnische Anwendungen von Ultraschall
Veranstaltungstyp	Konferenz
Ort	DeutschlandAuf Karte anzeigen