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Ultraschall-Mikroskopie zur Charakterisierung der Degradation von Halbleiterschichten

  • Daniela Florian (Vortragende*r)
  • Silvester Sadjina (Vortragende*r)

Aktivität: Vortrag oder PräsentationVortrag nach Bewerbung und Auswahlunbekannt

Beschreibung

In diesem Beitrag wird die bildgebende Darstellung der Degradation von Halbleiterschichten mit einem örtlich hoch auflösenden Ultraschall-Mikroskop beschrieben. Die Degradation führt zu lokalen Delaminationen der Metall­schichten, die elektrochemisch auf ein Halbleitermaterial niedergeschlagen werden. Durch diese De­gradationen entstehen akustische Fehlanpassungen, welche als Ultraschall-Echos detektiert werden können. Eine komplexe Signalverarbeitung ist notwendig um die Degradation aus den aufgezeichneten Ultraschallsignalen zu bestimmen.
Zeitraum26 Juni 2014
EreignistitelMesstechnische Anwendungen von Ultraschall
VeranstaltungstypKonferenz
OrtDeutschlandAuf Karte anzeigen

Wissenschaftszweige

  • 202039 Theoretische Elektrotechnik
  • 202016 Elektrotechnik
  • 202027 Mechatronik
  • 202037 Signalverarbeitung
  • 202036 Sensorik
  • 202012 Elektrische Messtechnik
  • 202022 Informationstechnik

JKU-Schwerpunkte

  • Mechatronics and Information Processing