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Model development and verification for spectroscopic ellipsometry analysis of plasma-activated Si wafers for direct wafer bonding

  • Nikolaus Rauch (Vortragende*r)

Aktivität: Vortrag oder Präsentation › Posterpräsentation › Science-to-science

Zeitraum04 Okt. 2022
EreignistitelWaferBond'22 - The International Conference on Wafer Bonding for Microsystems, 3D- and Wafer Level Integration, Schmalkalden University of Applied Sciences, Germany, 4.-6. Oct. 2022.
VeranstaltungstypKonferenz
OrtDeutschlandAuf Karte anzeigen

Wissenschaftszweige

  • 103 Physik, Astronomie
  • 210 Nanotechnologie

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