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12.5 nm Half Pitch NanoimprintLithography Using Stamps Replicated From CHARPAN Master Templates

  • D. Treiblmayr (Vortragende*r)
  • M. Kast (Vortragende*r)
  • G. Kreindl (Vortragende*r)
  • Thomas Glinsner (Vortragende*r)
  • Elmar Platzgummer (Vortragende*r)
  • Hans Loeschner (Vortragende*r)
  • P. Joechl (Vortragende*r)
  • S. Eder-Kapl (Vortragende*r)
  • T. Narzt (Vortragende*r)
  • Michael Mühlberger (Vortragende*r)
  • Martin Böhm (Vortragende*r)
  • Iris Bergmair (Vortragende*r)
  • M. Chouiki (Vortragende*r)
  • Rainer Schöftner (Vortragende*r)
  • Elisabeth Lausecker (Vortragende*r)
  • Fromherz, T. (Vortragende*r)

Aktivität: Vortrag oder Präsentation › Posterpräsentation › unbekannt

Zeitraum12 Okt. 2010
Ereignistitel9th International Conference on Nanoimprint and Nanoprint Technology
VeranstaltungstypKonferenz
OrtDänemarkAuf Karte anzeigen

Wissenschaftszweige

  • 103009 Festkörperphysik
  • 103018 Materialphysik
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  • 103 Physik, Astronomie
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  • 202032 Photovoltaik
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  • 210006 Nanotechnologie
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  • 103017 Magnetismus

JKU-Schwerpunkte

  • Nano-, Bio- and Polymer-Systems: From Structure to Function